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高功率量子點DFB激光器與梳狀激光器技術(shù)

更新時間:2025-08-26點擊次數(shù):183

量子點激光器技術(shù)基礎(chǔ)


 

 

量子點激光器在半導(dǎo)體激光器技術(shù)領(lǐng)域具有顯著優(yōu)勢,相比傳統(tǒng)的量子阱器件展現(xiàn)出更優(yōu)異的性能表現(xiàn)。這些微觀結(jié)構(gòu)在三個維度上限制電子和空穴,產(chǎn)生的光學(xué)和電子特性,使其在高功率應(yīng)用和先進(jìn)光通信中表現(xiàn)。

 

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圖1:量子點激光器炒作周期及技術(shù)優(yōu)勢對比圖,展示了從1995年到2025年量子點激光器技術(shù)的演進(jìn)過程,以及與硅基光電子和薄膜鈮酸鋰等外部調(diào)制技術(shù)的協(xié)同發(fā)展。

 

 

InAs/GaAs量子點激光器的核心優(yōu)勢包括出色的溫度穩(wěn)定性、顯著降低的背反射敏感性、多波長生成能力、窄激光線寬、低噪聲特性以及增強的可靠性。這些特性源于量子點中的三維量子限制效應(yīng),創(chuàng)建了類似原子的離散能級,而不是量子阱中的連續(xù)能帶結(jié)構(gòu)。

 

 

量子點技術(shù)長期以來一直在等待外部調(diào)制技術(shù)的成熟,特別是硅基光電子和薄膜鈮酸鋰技術(shù)。直接調(diào)制速度超過10Gbps的應(yīng)用受到弛豫振蕩阻尼的限制,而電吸收調(diào)制器由于增益吸收比較低也難以實現(xiàn)。在此期間,Innolume開發(fā)了的無再生長步驟的GaAs DFB技術(shù),成功實現(xiàn)了1064nm量子阱的1W連續(xù)波DFB激光器。

 

 

1制造工藝與產(chǎn)品組合


Innolume通過全面的垂直整合建立了量子點激光器制造領(lǐng)域的地位。制造設(shè)施覆蓋了從設(shè)計到表征的完整生產(chǎn)鏈,包括基于軟件的芯片設(shè)計、分子束外延生長、復(fù)雜的晶圓和芯片制造工藝、先進(jìn)的封裝技術(shù)以及嚴(yán)格的質(zhì)量控制措施。

 

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圖2:Innolume全面的產(chǎn)品組合光譜圖,顯示了從750nm到1350nm波長范圍內(nèi)的各種激光產(chǎn)品,包括單模激光二極管、光放大器、寬帶光源和多模器件的不同封裝選項。

 

公司的產(chǎn)品線涵蓋功率可達(dá)500mW的單模激光二極管、達(dá)到1W的脈沖激光二極管(法布里-珀羅配置)、覆蓋O波段的復(fù)雜梳狀激光器(多達(dá)37個通道,80 GHz間距)、以及可提供高達(dá)700mW輸出且具有廣泛定制選項的法布里-珀羅激光二極管。

 

公司在德國多特蒙德設(shè)有III-V激光器制造和測試設(shè)施,配備兩個生產(chǎn)型分子束外延反應(yīng)器,每次運行可處理3×4英寸晶圓。美國圣地亞哥設(shè)有硅基光電子設(shè)計和測量實驗室。公司現(xiàn)金流為正,員工總數(shù)75人,包括25名博士和3名數(shù)據(jù)中心專家,在2024年服務(wù)超過150個全球客戶。

 

2破紀(jì)錄的性能表現(xiàn)


量子點激光器的技術(shù)優(yōu)勢在性能指標(biāo)中得到充分體現(xiàn)。Innolume在DFB激光器領(lǐng)域取得了迄今為止最高的連續(xù)波功率紀(jì)錄,展現(xiàn)出的效率和可靠性。

 

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圖3:1064nm InGaAs量子阱DFB激光器的性能表現(xiàn)圖,顯示超過700mW的連續(xù)波輸出功率和45%的功率轉(zhuǎn)換效率,這是DFB激光器技術(shù)迄今報告的最高連續(xù)波功率。

 

這款創(chuàng)紀(jì)錄的器件在1064nm波長下工作,單面輸出光功率超過700mW連續(xù)波,功率轉(zhuǎn)換效率保持在45%以上,邊模抑制比超過45dB。偏振消光比超過18dB,光束發(fā)散角為25×7度,能夠通過低成本的柱面透鏡或菲涅爾透鏡實現(xiàn)高效的光纖耦合。

 

該激光器采用的InGaAs/AlGaAs材料技術(shù),無需過度生長步驟,在量子阱DFB激光器中實現(xiàn)了創(chuàng)紀(jì)錄的效率。這種設(shè)計在1064nm范圍內(nèi)工作,展現(xiàn)出超過700mW的光功率輸出能力。

 

3溫度適應(yīng)性與工作穩(wěn)定性


量子點技術(shù)最引人注目的優(yōu)勢之一在于其的溫度穩(wěn)定性。與在高溫下性能顯著下降的傳統(tǒng)量子阱器件不同,量子點激光器在溫度范圍內(nèi)保持一致的工作表現(xiàn)。

 

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圖4:O波段高功率InAs/GaAs量子點DFB激光器的高溫工作性能圖,展示了從-40°C到120°C溫度范圍內(nèi),在不同工作電流下的轉(zhuǎn)換效率穩(wěn)定性表現(xiàn)。

 

溫度適應(yīng)性源于量子點中的離散能級,相比量子阱提供更好的載流子限制效果。這一基本優(yōu)勢使器件能夠在高達(dá)85°C的外殼溫度下工作而無需熱電制冷,顯著降低了系統(tǒng)復(fù)雜性和功耗,同時在苛刻應(yīng)用環(huán)境中增強了可靠性。

 

該器件在85°C溫度下仍能保持超過55dB的邊模抑制比,相對強度噪聲低于150dB/Hz,光束發(fā)散角為35×7度。轉(zhuǎn)換效率在60°C工作溫度下仍保持在20%左右,展現(xiàn)出優(yōu)異的溫度特性。

 

4下一代光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)用


量子點激光器能夠滿足現(xiàn)代光通信系統(tǒng)的嚴(yán)格要求,特別是在可插拔收發(fā)器和光電共封裝應(yīng)用中表現(xiàn)出色。

 

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圖5:量子點連續(xù)波激光器在可插拔光收發(fā)器和光電共封裝系統(tǒng)中的應(yīng)用圖,展示了800G、1.6T、3.2T等不同速率下的系統(tǒng)架構(gòu),以及消除光隔離器和降低熱管理要求等優(yōu)勢。

 

該技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)100mW和150mW的輸出功率,在80°C外殼溫度下工作而無需熱電制冷或光隔離器,通過消除隔離器和簡化光學(xué)鏈路顯著降低了聚焦深度和物料清單成本。這些優(yōu)勢使量子點激光器成為數(shù)據(jù)中心和高性能計算應(yīng)用中高密度、高能效光互連的理想選擇。

 

在可插拔光收發(fā)器方面,技術(shù)支持從DSP型收發(fā)器到LPO/LRO收發(fā)器的演進(jìn)。在光電共封裝系統(tǒng)中,提供單波長灰光和基于梳狀激光器的DWDM彩光解決方案,具有成本、最小尺寸以及無波長混合損耗的優(yōu)勢。

 

5可靠性優(yōu)勢與技術(shù)發(fā)展


量子點技術(shù)的可靠性優(yōu)勢超越了簡單的性能指標(biāo),在器件物理學(xué)方面實現(xiàn)了根本性改進(jìn)。三維量子限制防止了災(zāi)難性光學(xué)鏡面損傷,并提供比量子阱器件高100-1000倍的輻射硬度。

 

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圖6:1310nm量子點DFB激光器的高加速壽命測試結(jié)果圖,顯示了在85°C和105°C條件下進(jìn)行的長期可靠性測試,其中138個和63個測試器件在數(shù)千小時測試中保持穩(wěn)定性能。

 

通過嚴(yán)格的壽命測試,Innolume從未觀察到量子點激光器的突然失效,數(shù)千個器件展現(xiàn)出的可靠性表現(xiàn)。在85°C溫度下200mW工作的預(yù)期壽命超過7年,完整的Telcordia GR468認(rèn)證計劃于2025年9月完成。

 

在初步的濕熱測試中,23個器件在85°C/76%相對濕度條件下進(jìn)行了500小時的加電濕熱測試,采用120mA電流(按GR468標(biāo)準(zhǔn)為1.2倍閾值電流),未觀察到性能退化現(xiàn)象。

 

6先進(jìn)梳狀激光器技術(shù)


 

 

量子點梳狀激光器技術(shù)經(jīng)歷了從2007年開發(fā)到2025年的持續(xù)改進(jìn)。最新的成果展現(xiàn)了這一技術(shù)在高速光通信中的巨大潛力。

 

 

 

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圖7:2025年最新的24通道100GHz網(wǎng)格梳狀激光器進(jìn)展圖,顯示了2.3 THz鎖定帶寬內(nèi)的24個梳狀通道,總功率40mW,單通道功率1.67mW,線寬小于2MHz,在頻譜內(nèi)的邊模抑制比超過60dB。

 

2025年的技術(shù)成果包括24個通道的100 GHz間距、2.3 THz的鎖定帶寬、總功率40mW(每通道1.67mW)、線寬小于2MHz、頻譜內(nèi)邊模抑制比超過60dB。在10MHz-22GHz范圍內(nèi)的平均相對強度噪聲略低于135 dB/Hz。測量的誤碼率在106 Gb/s PAM4調(diào)制下低于KP4-FEC水平,總數(shù)據(jù)速率達(dá)到2.5 Tb/s,重新計算的64 GB/s NRZ誤碼率低于10^-13。

 

相比2024年最多11個通道的表現(xiàn),2025年的24通道系統(tǒng)代表了量子點梳狀激光器技術(shù)的顯著進(jìn)步,為高容量光通信系統(tǒng)提供了強有力的技術(shù)支撐。這項成果在OFC2025會議上作為截稿后論文發(fā)表,展示了該技術(shù)在光通信領(lǐng)域的最新發(fā)展水平。

 

參考文獻(xiàn)

[1] Kovsh, "High Power DFB and Comb Lasers based on QDs," Innolume, Dortmund, Germany, Tech. Rep., July 2025.

 

 


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 筱曉(上海)光子技術(shù)有限公司 

 


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