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 產(chǎn)品簡介
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                  product
產(chǎn)品分類| 品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 面議 | 
|---|---|---|---|
| 組成要素 | 自由電子激光器 | 產(chǎn)地類別 | 進口 | 
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,建材,電子 | 
激光源產(chǎn)生的紫外/軟X射線輻射是Tingen在激光實驗室開發(fā)的,由高脈沖能量YAG激光器(1064nm,800mJ,7ns)聚焦于氣體電離產(chǎn)生。不同的目標(biāo)氣體對應(yīng)不同的能譜分布。
● 低殘留
● 高EUV能量(3.5 MJ)
● 低耗氣量(氣體脈沖持續(xù)時間:<1 ms)
● 簡單目標(biāo)氣體交換
● 桌面系統(tǒng)
● 計量:反射測量、吸收
● 光譜學(xué)(nexafs)
● 光學(xué)/傳感器測試
● EUV損壞調(diào)查
● 材料相互作用基礎(chǔ)研究
● 水窗顯微鏡(λ=2..4納米)
| 參數(shù) | 單位 | 指標(biāo) | 
| 產(chǎn)品編號 | EUV-B-XRAY | |
| 工作波長 | nm | 20nm | 
| 脈寬 | ns | 7 | 
| 脈沖能量(Xe) | mJ | 3.5(4π sr, 2% BW) | 
| 轉(zhuǎn)換效率 | % | 0.45 | 
| 等離子形狀 | NA | ? ~ 300 µm | 
| 重復(fù)頻率 | HZ | 10 | 
測試數(shù)據(jù)展示:


