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隨著芯片制造進(jìn)入3nm制程，極紫外（EUV）光刻機(jī)已成為芯片大規(guī)模量產(chǎn)和工業(yè)化的設(shè)備，目前僅有荷蘭ASML公司能夠制造但對(duì)中國禁售。EUV光刻機(jī)中最核心的分系統(tǒng)是激光等離子體（LPP）EUV光源，其研發(fā)的主要挑戰(zhàn)之一是提高激光到13.5nmEUV光的能量轉(zhuǎn)換效率（CE）。CO2激光器由于可同時(shí)實(shí)現(xiàn)高功率、高重頻和窄脈寬激光輸出，且其激發(fā)的Sn等離子體具有較高CE（5%），被選定為商業(yè)LPP-EUV光刻光源的驅(qū)動(dòng)光源。近期研究表明，1μm固體激光激發(fā)Sn等離子體的CE有可能滿足...

封面展示了傳統(tǒng)的深紫外發(fā)光二極管（DUV-LED）倒裝芯片的出光示意圖。器件工作時(shí)，空穴和電子分別從p型區(qū)和n型區(qū)進(jìn)入到量子阱中復(fù)合發(fā)光，但只有很小一部分光可以從器件底部出射，最終實(shí)現(xiàn)有效的光提取。造成器件光效嚴(yán)重?fù)p耗的原因主要有三類，即量子阱偏振度低、界面全反射、以及器件頂部光吸收。深入剖析以上關(guān)鍵科學(xué)問題及相關(guān)技術(shù)創(chuàng)新，有助于精準(zhǔn)突破光提取壁壘，實(shí)現(xiàn)高性能器件。一、背景介紹波長短于280nm的深紫外（DUV）光源應(yīng)用廣泛，覆蓋環(huán)境、食品、公共衛(wèi)生、通訊等多個(gè)領(lǐng)域，成為人民...

封面展示了一種片上集成微納結(jié)構(gòu)的紅外偏振探測器的工作模式。該器件通過像素級(jí)偏振敏感微結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)紅外入射光的全偏振信息解耦，并在像素級(jí)光吸收區(qū)將解耦后的偏振信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。隨后，對(duì)讀出電信號(hào)進(jìn)行校正與重構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)被測目標(biāo)全偏振特征的實(shí)時(shí)提取。該片上集成微納結(jié)構(gòu)的紅外偏振探測器具有高集成度和實(shí)時(shí)成像能力，可高效獲取被測目標(biāo)及場景的材料成分、表面形貌和理化特性等，在**、民用及醫(yī)療等領(lǐng)域展現(xiàn)出重要應(yīng)用價(jià)值。1、背景介紹偏振是電磁波重要的信息組成部分，指光波的振動(dòng)方向。當(dāng)光波與介質(zhì)表...

在數(shù)據(jù)中心爆發(fā)式增長的今天，一種名為“蝶形高速調(diào)制VCSEL激光器”的技術(shù)正悄然掀起光通信領(lǐng)域的革命。當(dāng)你刷著4K視頻或進(jìn)行云端協(xié)作時(shí)，或許正是它在背后支撐著海量數(shù)據(jù)的閃電傳輸。一、什么是VCSEL激光器？從基礎(chǔ)說起對(duì)于非專業(yè)人士來說，激光器可能顯得陌生而遙遠(yuǎn)。簡單來說，VCSEL的全稱是垂直腔面發(fā)射激光器，與我們常見的邊發(fā)射激光器不同，它的光束是從芯片表面垂直射出。這種獨(dú)特結(jié)構(gòu)帶來了三大天然優(yōu)勢：低閾值電流：能耗更低，符合綠色數(shù)據(jù)中心需求圓形對(duì)稱光斑：與光纖耦合效率高達(dá)90...

錐形光纖+超柔電極：打造更精準(zhǔn)的腦科學(xué)工具在神經(jīng)科學(xué)研究中，光遺傳學(xué)技術(shù)通過將攜帶光敏蛋白的病毒注入目標(biāo)腦區(qū)，然后利用特定波長的激光激發(fā)或抑制神經(jīng)元活動(dòng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的神經(jīng)調(diào)控。然而，如果要同步觀察這些神經(jīng)元在受到光刺激時(shí)的電生理信號(hào)，就需要將激光與電極“打包”到同一套裝置中。但一旦激光照射到電極位點(diǎn)，往往會(huì)產(chǎn)生額外的光電偽影噪聲，從而干擾真實(shí)神經(jīng)信號(hào)的檢測。如圖1所示，本次發(fā)布的光電神經(jīng)接口采用了錐形光纖作為光源引導(dǎo)的載體，并結(jié)合擁有超低厚度與柔性的超柔電極。這樣既能減輕...

封面展示了基于非線性晶體的自發(fā)參量下轉(zhuǎn)化過程產(chǎn)生糾纏光子的示意圖。本文使用周期極化磷酸氧鈦鉀（PPKTP）晶體光路實(shí)現(xiàn)了高效率的位置-動(dòng)量（EPR）糾纏光子制備，并利用鬼成像和鬼干涉技術(shù)驗(yàn)證了糾纏特性，實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)相對(duì)簡單，可以為量子信息處理、量子成像等過程提供幫助。1、研究背景量子糾纏態(tài)在量子科學(xué)領(lǐng)域，已應(yīng)用于量子密鑰分發(fā)、量子計(jì)算、量子中繼等領(lǐng)域。位置-動(dòng)量糾纏（即EPR糾纏）描述一對(duì)在位置上相關(guān)，同時(shí)在動(dòng)量上反相關(guān)的粒子，設(shè)xa、xb分別為粒子a和b的位置，pa、pb分別為...

一、研究背景智能材料作為未來科技的關(guān)鍵組成部分，在許多領(lǐng)域中展現(xiàn)了巨大的應(yīng)用潛力。然而，傳統(tǒng)的磁響應(yīng)材料通常受到固定磁各向異性和單一響應(yīng)模式的限制，難以滿足復(fù)雜環(huán)境和多功能任務(wù)的需求。例如，在醫(yī)療手術(shù)中，微型軟體機(jī)器人需要在狹窄空間中變形以適應(yīng)復(fù)雜的解剖結(jié)構(gòu)，同時(shí)還需承擔(dān)精準(zhǔn)遞送藥物等多種功能。現(xiàn)有磁響應(yīng)材料的局限性使得這些需求難以全面實(shí)現(xiàn)，因此開發(fā)具有可編程性和多響應(yīng)能力的新型磁性材料成為研究熱點(diǎn)。此外，如何通過簡單、高效的技術(shù)在不破壞材料整體結(jié)構(gòu)的情況下，實(shí)現(xiàn)多次重復(fù)編程...

封面展示了基于非線性晶體的自發(fā)參量下轉(zhuǎn)化過程產(chǎn)生糾纏光子的示意圖。本文使用周期極化磷酸氧鈦鉀（PPKTP）晶體光路實(shí)現(xiàn)了高效率的位置-動(dòng)量（EPR）糾纏光子制備，并利用鬼成像和鬼干涉技術(shù)驗(yàn)證了糾纏特性，實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)相對(duì)簡單，可以為量子信息處理、量子成像等過程提供幫助。1、研究背景量子糾纏態(tài)在量子科學(xué)領(lǐng)域，已應(yīng)用于量子密鑰分發(fā)、量子計(jì)算、量子中繼等領(lǐng)域。位置-動(dòng)量糾纏（即EPR糾纏）描述一對(duì)在位置上相關(guān)，同時(shí)在動(dòng)量上反相關(guān)的粒子，設(shè)xa、xb分別為粒子a和b的位置，pa、pb分別為...